압력을 10-5Pa까지 떨어뜨린다.
(이때 이온화게이지를 통해 압력을 체크하는데 이온화게이지는 수명이 있으므로 켰다가 확인하고 끄도록했다.)
⑧ 열판에 열을 가하여 증착을 시작한다.
3)끌 때
① 모든 압력 gauge를 끈다.
② main 벨브를 잠그고 3way밸브를 close로 돌린 다음 오일확산펌프를
3. 실험 결과
(1) 시료별 증착 속도와 압력 강하 및 그에 따른 측정값
시료증착 속도(Å/S)
처음 압력(Pa)
1분후 압력(Pa)
증착 시작시 전류(A)
전압(V)
누적증착량
(kA)
1
0.5
5.0X10-3
3.0X10-3
43.5
1.2
0.051
2
1.0
5.0X10-3
3.5X10-3
47.8
2.0
0.180
(2) 시료의 질량변화
질량
시료실험전 총무게실험
실험 순서
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고
20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② heating boat에 ALQ3를 고정시키고
기판에 증착판을 고정한다.
⑤ Chamber내의 압력이 충분히 떨어진 후 다시 Fore way쪽으로 벨브를 연다.
⑥ 오일확산펌프의 압력이 10-2Pa까지 떨어지면 R
3. 실험결과
<이상기체상태방정식을 이용한 증착량 계산>
o 이상기체가정, 이상기체방정식(PV=nRT) 성립
o Chamber의 부피 m3, 온도 25℃
o Alq3의 분자량은 459.44g/mol 이다.
o 증발한 시료의 몰수는 = 실험 후 기체의 몰수-실험 전 기체의 몰수
o 증발한 시료의 무게는 = 실험 전 시료의 무게-실험
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가
진공을 잡아 준 후 더 낮은 기압을 갖는 진공을 잡아주려고 할 경우 Diffusion Pump를 이용하여 더 낮은 진공을 잡아준다. 증착기에서 사용하는 밸브는 release 밸브를 제외하고는 모두 공기압식 밸브를 사용한다. release 밸브는 갑작스런 정전이나 조작상의 실수로 인하여 펌프의 오일이 챔버와 배기 라인으로
2. 1. 1. 계면중합법
계면중합법은 혼합되지 않는 2개의 용매 중에 모노머를 용해하여 양액의 계면에서 고분자를 합성하는 계면중합반응을 이용해서 마이크로캡슐을 제조하는 방법이다. 원리는 그림 3에 나타내었다. 수용성모노머를 함유한 용액(수상)을 혼합되지 않는 용매중(유상)에 미세한 액적으
증착이 가능하다. 고진공에 놓은 용기 속에서 증착될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어 둔 다음, 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 그 금속 입자를 증발시키면 차가운 물체 표면에 응축해서 부착하는 것을 이용하여 붙이는 방식이다. 이 때 시료를 가열하는 부분인 증발원의 재
진공실 안의 온도를 낮추어 놓는다.
⑤ 아이스크림을 철사로 제작한 틀에 올려놓고 저울에 매단다.
⑥ sample의 온도를 측정하기 위해 가느다란 선의 thermo couple(온도계)를 아이스크림 중심에 꽂는다.
⑦ 진공실의 문을 닫고, 진공펌프를 작동시켜 천천히 진공을 걸어준다.
⑧ 시간에 따라 무게의 변화
실험에서 사용한 증착법은 전자빔 증착법이다.
전자빔 증착법은 박막을 증착시킬 때, 증착시키고자 하는 물질을 소결하거나 녹여 고체 상태로 제조하고 전자빔을 쏘아 휘발시켜 기판에 증착시키는 방법이다. 이 때, 증착시키려는 물질이 기체 상태로서 증착되는 것이기 때문에 진공상태의 분위기에